发表时间: 2021-09-06 11:30:38
作者: 成(chéng)都(dōu)英皇体育和朗锐芯(xīn)科技发展有限公司
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测控设备领(lǐng)域上我国始终落后与(yǔ)国外发达国家(jiā),先进(jìn)设备都需要从国(guó)外(wài)购买,去年(nián)疫(yì)情贸易进出口(kǒu)的封锁,让国内买不到国外先进设备而无法进行产品制造,也大(dà)多人明白将(jiāng)中国(guó)制造转变(biàn)为中(zhōng)国“智”造迫在眉睫。而测控系统作为打造国(guó)之重器(qì)的重要(yào)技术装备,其国(guó)产(chǎn)化进程(chéng)更是刻不容缓。
测(cè)控设(shè)备(bèi)国(guó)产化,不仅可将用户需求(qiú)体现在产品上,更(gèng)多地提高可(kě)用性,还能(néng)全面提高国产测控设备(bèi)的核(hé)心竞争力,实现弯道超车(chē)。
虽前景光(guāng)明,但测控设备的国(guó)产化绝非(fēi)易事,其包括系统级的(de)国产化、OS级(jí)的国产化和芯片级的国产化“三(sān)步走战略”,涉及软件、硬(yìng)件、算法等众多层面,如何在保证系统(tǒng)功能和可靠性的(de)同时,快速实现国产化、自主可控的测(cè)控(kòng)系统,打造一张(zhāng)张闪亮的中国“智”造名片,成为(wéi)各国内企业(yè)亟(jí)待(dài)解决的难题。
纵观半导体的制(zhì)造流程,晶圆针测是(shì)非常重要的一环。检测晶圆的响应参(cān)数进行特性分类,需通(tōng)过(guò)电压(yā)输出激励待测晶圆,再(zài)由(yóu)高速的模拟(nǐ)量监测给电过程中的响应(yīng)特性,同时需要大量DiDo的开关(guān)量控制(zhì)探针台位置。
针对上述需(xū)求,为该晶圆针测环(huán)节(jiē)提(tí)供了一(yī)款具有16位高分辨率和高达1M的采集速(sù)度(dù),并可同时输出(chū)两路波形的(de)高速采集与控制卡(PCIE-1816H),另外依(yī)据不同的(de)数字控制(zhì)点选配了多款控制(zhì)卡(PCI-1737/1757/1753 IO)。基于三大维度,成(chéng)功助力(lì)晶(jīng)圆检测设备实现国产化。
在智能(néng)制造的大趋势下,数控机床(chuáng)正向着高精度、高速度、高生产效率的方向发展,这(zhè)对机床的动态(tài)特性提出了更高的要求(qiú)。此外,通过模态测试与分析建立机(jī)床的结构动力(lì)学模(mó)型,也成为优化机床设计与(yǔ)性能、及早(zǎo)发(fā)现潜在问题的有效途径(jìng)。
对(duì)于机床(chuáng)的模(mó)态分析而言,更是一项“精细活(huó)”。其主要是使(shǐ)用力(lì)锤、激振器(qì)或者激振台产(chǎn)生(shēng)脉冲冲击,利用加速度传感器(qì)在多(duō)点进行(háng)同步响应信号的采集,再(zài)用(yòng)数学分析方法计(jì)算机械结构(gòu)的固有振动特性,每一个模态(tài)都(dōu)有特定的固有频率、阻尼比和模(mó)态(tài)振型。这套系统此前一直由国外公司提供,不仅面临着(zhe)市场供货不足的问题,其高昂的价格也让人(rén)望而却步。
除此(cǐ)之外(wài),国外模(mó)态试验系统也面临着技术(shù)瓶颈(jǐng)。为保证(zhèng)实验数据(jù)精(jīng)度和振型辨识要(yào)求,需要在数控机床的主轴、立柱和(hé)工作台布置几十个(gè)测(cè)点,每个测点采用XYZ三向加(jiā)速度传(chuán)感器,采(cǎi)集通道高达100路以上。国外(wài)系统的模态测试系统一般仅有(yǒu)32通道(dào),只能采取分区测试的方法(fǎ),不仅非常耗时,而且由于各区域的测试不是在同一激(jī)励下进行的,后续分(fèn)析计算也极(jí)为复杂。
针对(duì)数控机床模态试(shì)验(yàn),为客户量身打造了(le)一套104通道(dào)同步振动模态测试系统(tǒng)。该(gāi)系统采用13张PCIE-1803,每片PCIE-1803支持(chí)8路(lù)信号,共104路,使用内部同步(bù)总线可实现纳秒级同步时间,误差(chà)小(xiǎo)于(yú)100ns。
此(cǐ)外通过增加主机系统,可(kě)以实现200通道以上的(de)同步采集。应变(biàn)片信号采集通过2片PCIE-1813 实现(xiàn),系(xì)统选用IPC-623BP机(jī)箱(xiāng)配合PCE-7B17底板(bǎn)支持15片PCIE板卡。软件兼备加速(sù)规传感器的灵敏度(dù)、供电方式、耦(ǒu)合(hé)方式、采样(yàng)频率等设置(zhì),同时具有数据采集、曲线显(xiǎn)示和数据保存的功能,实为打造系(xì)统级国产化的(de)理想路径(jìng)。有效解决了国外模态测试系统(tǒng)价格(gé)高、备件不(bú)足的弊端,保证(zhèng)了系统的精度和稳定性(xìng),在与(yǔ)客户的密切合(hé)作与(yǔ)快(kuài)速服务中,高效(xiào)完(wán)成国产化替代的进程
测(cè)控设备国产化“三部曲”,第一曲“系统级国(guó)产(chǎn)化”已完美谢(xiè)幕。放眼未来,国产化(huà)之路任重(chóng)道远(yuǎn),仍有诸多挑(tiāo)战等待突破(pò),等(děng)待(dài)我(wǒ)们(men)探(tàn)索(suǒ)其背后的(de)机遇。下一期“OS级国产(chǎn)化”,我(wǒ)们(men)将带你揭开中国操作系统(tǒng)国(guó)产化的序(xù)幕(mù),敬请关注(zhù)!